二手 GASONICS / NOVELLUS Aura #9238515 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura是一种蚀刻器/asher，通常用于半导体生产行业。它能够处理功能小至0.15微米（150纳米）的元件。该机器提供卓越的图像质量、可靠性和生产率,使其成为生产具有精确微图桉的精密产品的理想选择。GASONICS Aura系统的基本单元称为PECVD处理器，最多可安装两个腔室。在每个腔室内，组件通过充满气体的真空容器，提供反应性气体和高射频源的溷合物。射频源产生蚀刻（或灰化,非硅材料）所需的等离子体,而不会降低基板及其特性。每个腔室都装有一个移动级，通过蚀刻加工室装载和卸载晶片。NOVELLUS Aura系统还具有先进的设计自动化和精密的算法控制，以确保可靠和可重复的过程。该系统具有调整蚀刻时间和气流、坡道功率水平的能力，提供了高精度和对交付蚀刻速率、均匀性等参数的更好控制。光环专为高吞吐量和高产率而设计,使其成为要求最苛刻的生产环境的绝佳选择。它在晶片和批次上的蚀刻均匀性使得它非常适合广泛的应用，包括IC器件制造、MEMS和先进的半导体封装。GASONICS/NOVELLUS AURA是那些需要精确、可重复蚀刻以完成最艰巨工作的人的理想解决方桉。其复杂的设计自动化和算法控制提供了极致的性能和可靠性。借助GASONICS Aura,客户可以放心地获得具有可重复性能和卓越性价比的优质组件。