二手 GASONICS / NOVELLUS / GPT Gamma #9083208 待售

GASONICS/NOVELLUS/GPT Gamma是电子和半导体行业常用的先进蚀刻器和asher。它旨在清洁、蚀刻和沉积半导体晶片表面的材料。它使用高压氧等离子体从晶片中除去氧化物、硅酸盐和碳氢化合物。该蚀刻器还具有用于银硫蚀刻的氧活性气体注入，以及用于高选择性蚀刻的反应性离子蚀刻。GPT Gamma是一种全自动的多工具设备，可以蚀刻、粉刷和清洁直径从八英寸到三十二英寸不等的各种半导体晶片。该系统还可以容纳大量晶圆载波，包括昂贵的"飞轮"晶圆载波。GASONICS Gamma采用先进的过程监测和反馈控制技术，旨在最大限度地减少粒子生成。它还具有可变的工艺时间延迟，以减少晶片上的热和机械应力。腔室连接到一个强大的气体输送单元，可以对腔室进行预热和加压。这台机器能够控制在精确控制的水平和温度下引入高速反应气体。Gamma配备了最先进的晶片处理工具,具有安全的分层设计,为晶片提供最佳机械保护。资产还可以管理高度自动化，包括热预选、晶圆捕获、加载、卸载以及预处理和后处理分析。此外，NOVELLUS Gamma与多种晶圆材料兼容，如硅、氮化铝和石英。GASONICS/NOVELLUS/GPT Gamma是市场上最先进的系统之一，提供卓越的性能和可靠性。该模型旨在最大限度地提高产量、降低成本和周期时间,并帮助确保总体需求得到满足。它由多种标准认证,并由世界一流的技术工程师团队提供支持,以帮助确保客户满意。