二手 GASONICS / NOVELLUS Iridia #293659761 待售
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ID: 293659761
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
Asher, 8"
Dual chamber
Gas supply:
Left and right chamber gas box:
Gas name / Range / Connection size
CF4 / 200 SCCM / 1/4" VAC Male
N2 / 500 SCCM / 1/4" VAC Male
O2 / 500 SCCM / 1/4" VAC Male
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC Male
NF3 / 20 cc / 1/4" VAC Male
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC Male
Purge N2 / - / 1/4" VAC Male
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAWA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Left and right PCM
(2) 95-3798 MISC Controllers
(2) 02-168304-00 Gas controllers
(2) 95-3154 M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHERM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves
Chambers:
(4) PCW QC6 Connectors
(2) VAC ISO 80
(2) CDA 3/8" SWG Male
Missing parts:
YASKAWA XU-RCM 4700 Robot
(2) ASTEX D13765 M/W Generators
Power supply:
208 V, 50/60 Hz, 150 A, 3 Phase, 5 Wires
2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUS Iridia是半导体製造业所使用的先进蚀刻和灰化设备。它是一个全自动系统，提供对用于生产半导体芯片的光刻胶、金属和其他材料的高精度处理。该设备采用了业界最新的多模等离子体蚀刻和CVD工艺技术，能够在各级芯片开发中更快地处理复杂的图样和更严格的尺寸公差。GASONICS Iridia机具有多项创新，有助于最大限度地提高半导体芯片产量并提高吞吐量。它使用单源蚀刻/灰分工艺,将关键蚀刻和沉积工艺合并到一台机器中,以减少多阶段处理所需的昂贵的设置更改。它还具有直接采样现场诊断工具和实时数字反馈,以实现最大程度的过程控制和改进的工具正常运行时间,以及自动负载室平衡能力和改进的晶圆均匀性,以实现更精细的特征控制。NOVELLUS Iridia资产提供多种蚀刻配置，用于优化特征分辨率和选择性。它的自动化系统可实现精炼设备结构的工艺优化和更快的坡道提升时间,并且其可选的负载锁定模型可提供快速的基板导入和移除,从而提高工艺稳定性和吞吐量。该设备还允许定制基板配置和装载，允许用户最大限度地提高生产灵活性，并根据个人需求定制系统。虹膜的设计具有最佳的稳定性、吞吐量和多功能性，使半导体制造商能够推动薄膜技术的发展。该单元提供的功能能够在要求最苛刻的半导体环境中处理复杂的三维结构和亚微米几何形状。所有这些都有助于提高产量和提高过程稳定性,从而允许在较短时间内生产更高质量的芯片。
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