二手 GASONICS / NOVELLUS L 3200 #9083205 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3200是一款高科技蚀刻器和asher，设计用于精确可靠的蚀刻和灰分半导体晶片。该设备能够在p型和n型半导体材料中进行蚀刻和灰化。它配备了一套接口工具、传感器和技术,可以快速、准确地对晶片上的复杂特征进行精确、高质量的蚀刻和刻蚀。GASONICS L 3200或L 3000系列具有高效可靠的晶片夹紧静电卡盘。利用其电极阵列，该系统提供多达13个电接触点，以改进复杂晶圆特征的蚀刻和灰化。它可以精确蚀刻和灰烬特征大小从0.1 μ m到10 μ m。该单元配备了一台用于蚀刻和灰化过程的气体输送机。它具有对加工气体进行高效加压的特点，以及用于控制蚀刻和灰化过程中气体流动的先进软件。该工具在蚀刻和粉刷小型设备或组件方面非常宝贵。在NOVELLUS L 3200中,蚀刻和灰化过程可以通过几种不同的方式进行。它可以利用化学气相沉积（CVD）进行蚀刻和灰化层，包括金属和介电。此资产还可以利用等离子体蚀刻/灰化来提高表面质量和晶片上蚀刻和灰化的特征尺寸的准确性。L 3200是快速、准确、可靠地蚀刻和粉刷半导体晶片的强大工具。这款车型先进的送电设备、电极阵列、送气系统都协同工作，确保精密蚀刻和灰化错综复杂的特点。该单元提供0.1 μ m至10 μ m的特征尺寸,以及在p型和n型半导体材料中蚀刻和灰分的灵活性。GASONICS/NOVELLUS L 3200具有多种功能,是制造工厂的宝贵工具。