二手 GASONICS / NOVELLUS L 3300 #9243661 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3300是一款全自动蚀刻器，旨在在基板上产生极高质量和精确的特征。这种蚀刻器提供了一种高压、高密度的等离子体环境，能够快速蚀刻各种材料。集成的端点检测设备可确保超精确的蚀刻轮廓,从而提高产量和生产率。此单元的高级控制和自动化有助于确保可重复的过程结果。这是通过多种功能来实现的,例如严格的过程控制、内联诊断、自动配方管理和各种等离子体配方。此外,该系统为基板加热和冷却提供了高效的热源.为了加热，使用原位石英灯在蚀刻过程中保持恒定温度，热量均匀分布在目标基板上。GASONICS L 3300使用脉冲等离子体电源（PPPS）生成精确而均匀的等离子体，该等离子体针对不同类型和厚度的材料量身定制。PPPS和基板之间的接口旨在最大限度地提高产量和吞吐量。PPPS提供了可调脉宽波形和自适应等离子体波形，以优化过程控制。室内还管理原位气体，以确保最佳工艺可重复。具体来说，蚀刻器提供氧气、Ar/CF4/CHF3、SiCl4和SF6化学品的动态流动控制。通过可调高弧铜淋浴头和光纤淋浴头的真空密闭室控制工艺，提高工艺均匀性。NOVELLUS L 3300能够处理尺寸达8英寸（203毫米）的基板。这允许快速周转时间，因为基板可以在短时间内处理，不需要额外的通路或步骤。该蚀刻器易于使用，具有用户友好的界面，便于配方生成、单元操作和过程监控。该机器还配备了一个集成的诊断工具，有助于确保过程的可重复性。总体而言,L 3300是一种高质量、可靠的蚀刻资产,旨在提供精确、精确的蚀刻功能。以其高压、高密度的等离子体和高效率的加热/冷却能力，是许多不同行业的理想选择。它的灵活性和易于使用的特性使它成为任何需要快速可靠地精确蚀刻基板的人的绝佳选择。