二手 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9227632 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3500是一款用于半导体制造行业的最先进的蚀刻器/asher。它结合了精密光刻、等离子体清洗和硬掩模蚀刻工艺的最新进展，提供了最高水平的产量和吞吐量。GASONICS L 3500有两个蚀刻室和两个等离子体系统，使它能够同时处理多达两个晶圆。它还有一个真空密封盖，允许收集蚀刻工艺的任何副产品，如铜蚀刻产品。NOVELLUS L3500采用了GASONICS专利的脉冲等离子体技术，该技术使用聚焦、高密度、微秒持续时间的等离子体脉冲在蚀刻前对材料表面进行清洁。此过程会在蚀刻开始之前清除任何杂质或缺陷,从而确保最终产品非常干净且无缺陷。此外，L 3500还具有定制的调节等离子体化学的中气流系统，使其能够处理各种薄膜。有了这个系统，GASONICS L3500可以蚀刻金属、聚合物、电介质甚至硅化物。NOVELLUS L 3500配备了NOVELLUS专利的PFZ软件，它允许用户对蚀刻过程进行编程和监控，具有准确性和控制性。它还具有直观的图形用户界面，允许用户快速、轻松地设置蚀刻参数并监控其进度。L3500提供卓越的最终产品质量。其先进的腔室设计确保蚀刻目标在加工过程中不受污染，造成极低的缺陷率。这使得它能够满足半导体行业最严格的质量要求。此外,GASONICS/NOVELLUS L3500还具有先进的蚀刻均匀性控制功能,确保所有蚀刻材料保持在其指定尺寸内。总而言之，GASONICS/NOVELLUS L 3500是为半导体制造行业设计的先进蚀刻器/asher。它提供了脉冲等离子体清洁、可调等离子体化学和用户友好的PFZ软件的组合,以实现最终产品控制和准确性。由于其先进的设计，GASONICS L 3500极为可靠，产生了高精度、无缺陷的终端产品。