二手 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235158 待售
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GASONICS/NOVELLUS L 3500是为化学机械平面化（CMP）工艺而设计的高端蚀刻/灰烬设备。它在易于使用的系统中提供高性能、流线型的操作员控制和出色的过程一致性。该设备在长时间的运行中提供了最高的可重复性和可靠性,并为各种湿法和干法蚀刻/灰化应用程序提供了最佳的工艺控制。GASONICS L 3500配备了两轴机械臂，为模具机器人定位提供精确、可重复的运动。该臂可用于对齐平台上的工具。该机还利用基于GASONICS微处理器的实时自适应控制来确保最高的蚀刻/灰化性能。它与一个高性能的机械臂控制器结合在一起，能够精确定位和定位一个或多个机器人在任意角度范围内，速度高达每秒10次（sps）。为确保整个晶片表面的工艺条件一致,该工具利用了多区域视区除尘资产,该资产允许对视图中每个区域的工艺条件进行特定调整,从而实现工艺优化和对齐。此外,该型号还配备了自动除水功能,通过在晶圆蚀刻之间重置平台自动保持蚀刻/灰分均匀性。这有助于减少每次蚀刻中的错误,从而在晶圆上形成一致的蚀刻轮廓。NOVELLUS L3500还设计了一致的性能和高工艺产量。设备结合了多区控制、晶片级和工艺级参数，以及实时报警监控。此外,该系统还提供了一个机器人集成的模具视觉,可实现高吞吐量、高精度对准和可重复性。总体而言,NOVELLUS L 3500是用于CMP工艺的高级、可靠、高性能的蚀刻器/Asher。它为高产蚀刻/灰化提供了高精度和重复性。该单元具有高度的可配置性和多功能性,可针对各种流程和应用程序进行调整。凭借其先进的特性和功能，这台机器是最具挑战性的CMP应用的理想选择。
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