二手 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235159 待售
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GASONICS/NOVELLUS L 3500是一款先进的蚀刻器/asher，专为高通量、快速沉积和精确原子层沉积而设计。它能够在高吞吐量下达到3-5纳米的精度。该系统配备了基于真空的工艺室、大功率射频等离子体源和原位晶圆检测装置。真空加工室为加工基板提供了超高真空环境。它配备了气体分配系统，可以精确控制工艺大气，使一系列材料能够被蚀刻或粉刷。该工艺室还包括主动抽水，以维持10-6 Torr的真空水平。射频等离子体源能够在一定功率范围内产生非常高功率的等离子体。这使得从金属到电介质的各种材料都可以被蚀刻或粉刷。该系统还包括对等离子体功率和频率的精确控制，使操作员能够将过程与所需的应用相匹配。原位晶圆检测装置允许对蚀刻或粉刷表面进行实时检测。这样可以确保不同尺寸和材料的基板得到一致的结果。该装置包括多种测量温度、压力等参数的传感器，GASONICS L 3500还包括用于操作和管理配方和参数的软件，以确保过程结果一致。总体而言,NOVELLUS L3500是一种功能强大、精确且高通量的蚀刻器/蚀刻器,非常适合各种沉积和蚀刻过程。它具有很高的可靠性，易于操作，设计用于处理一系列具有高精度和吞吐量的材料。
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