二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293586002 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款高精度的高级全向选择性感应耦合等离子体（ICP）蚀刻器或asher。它是一种大面积干蚀刻工具，专门设计用于在各种材料制成的基板的选择性和全向蚀刻方面提供卓越的性能。它也被用于加工包括硅、安替莫尼和铵、磷化铵在内的多种材料和薄膜。GASONICS L 3510被认为是同级中最快的蚀刻机之一。它利用通过射频（RF）发生器产生的电感耦合等离子体。这允许在整个晶片上进行有效和均匀的蚀刻。该工具具有独特的气雾携带罩，均匀分布蚀刻气体在整个表面的晶圆基板。此外，NOVELLUS L 3510利用一个溷合离子子组件，同时引导离子束和一个来进行高度柔性蚀刻的基于​​的离子束等离子体在晶圆表面上。L 3510配备了高级流程和计算系统，实时监控和控制蚀刻流程。主控制面板具有前端用户界面和后端系统。前端用户界面使用图形用户界面（GUI）技术显示各种流程参数，允许用户调整设置。后端系统反复测量和记录关键过程数据,以优化配方并确保高度可重复、一致的蚀刻过程。GASONICS/NOVELLUS L 3510具有多个ICP源和一个内置晶片卡带加载系统，用于快速晶片处理。此外,该工具可自动用于串联生产应用程序。独立的数据集中器可以将所有流程数据转发到主机计算机进行远程监控和操作。这样可以提高过程控制和灵活性,并提高操作效率。GASONICS L 3510是一款多功能、先进的蚀刻器和asher，提供出色的晶圆级图桉和选择性蚀刻能力。此工具旨在提供卓越的性能,使用户能够实现高蚀刻一致性和极小的功能尺寸。因此，它是半导体、太阳能电池和平板显示器行业制造的理想工具。