二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293595737 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher是一种先进的高通量干式蚀刻设备,具有更高的工艺控制和更高的生产率。该系统被设计用于广泛的应用，如硅、氮化物、金属和有机材料。GASONICS L 3510单元的可靠性是基于GASONICS和NOVELLUS的综合经验和技术。NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher依靠经验证的蚀刻技术，包括感应耦合等离子体（ICP）源和准分子（深紫外线）激光器，来蚀刻和清洁基板。它有一个提供足够灵活性蚀刻不同材料的工艺室，并有一个内置的真空机，创造一个超高真空环境。蚀刻器/灰化器能够以高通量速率蚀刻材料的薄膜，如硅或氮化物。原位电容电压（CV）监视器允许实时过程控制,以确保均匀蚀刻。此外，平台先进的温度控制和气体分配工具允许精确的温度和气体分配。L 3510 etcher/asher由一套软件支持,使用户能够快速选择和优化配方,从而提供增强的用户体验。用户可以根据应用程序的要求创建配方和修改参数。图形用户界面（GUI）界面对用户友好,允许直观操作。GASONICS/NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher是电子、光子学和半导体行业多种应用的绝佳平台。它具有可提供高精度和可重复性过程的PLC控制,而介电恒定监控器（DFM）和真空监控器（VTM）系统提供了出色的过程控制和监控能力。该资产非常适合各种晶圆清洗和蚀刻应用，如去除热生长的氧化物和金属的浅蚀刻。该型号在蚀刻过程中还提供了低污染，这对诸如铝或银等敏感材料是有利的。由于其模块化的设计，设备可以很容易的升级和修改，以满足客户不断变化的需求。