二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293658983 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先进的蚀刻/asher设备，非常适合生产先进的半导体器件。该系统具有独立化学控制的等离子体蚀刻和灰化室.此外,它还可以实现自动化,以改进过程控制和吞吐量。该装置的化学控制由GASONICS获得专利的等离子体增强型直流电（DC）化学控制机驱动。该工具可确保精确控制蚀刻和灰化过程,同时最大限度地减少可变性并提高产量。它还允许用户为广泛的工艺选择蚀刻化学，例如蚀刻铝、锡和铜。GASONICS L 3510可配置各种腔室，如基板预热模块，以及雾化器和等离子体灰烬。基地单元还设有为远程等离子体操作设计的前门。此资产还包括自动晶片处理组件,其中包括电动晶片防卡模块和可选的负载锁（不包含）。该模型支持广泛的蚀刻和灰化工艺，包括铝、铜、锡、钨、聚酰亚胺、陶瓷、氮化硅和有机物等。其高处理速度，高达每小时200晶圆，非常适合大批量生产要求。此外,该设备还具有一系列环境和安全功能,如先进的过滤、自动灭火和超压关闭,有助于确保安全和高效运行。最后，NOVELLUS L3510蚀刻机是一个功能强大且可靠的系统，非常适合生产先进的半导体器件。它提供精确的化学控制和高吞吐量,以及一系列旨在确保过程环境安全和可重复的功能。