二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9144778 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Asher是一款为中高通量生产应用而设计的高端自动蚀刻和灰度半导体制造设备。该系统设计用于在半导体基板上以高密度电路特征绘制光刻胶和其他干膜层的图样。它能够蚀刻低至0.20 µm的特性，具有高精度和均匀性。该单元包括两个模块化设计的工艺室，实现最大通风和温度均匀性。配备了最先进的等离子体点火装置，可以根据客户的具体需求量身定制。溷合气源（MGS）机可引入特殊蚀刻气体，允许采用超细蚀刻的多步工艺。温度控制是在工艺室中实现的，其精确控制范围在25至400°C之间。该工具带有高速传输资产,并与GASONICS专有的"灵活处理模块"集成在一起,使用户能够为其应用选择最合适的流程。它还集成了一个电动基板处理程序，可以方便地装载和卸载基板。GASONICS L 3510为最大限度地提高生产率和保护基材不受污染,采用先进的自动化基材处理模式,并提供可选的惰性气体集成,以保护敏感材料。设备配有全方位的过程控制功能，如自动缺陷检测、端点传感、过程参数监控、过程优化能力等。它还具有内置的诊断功能,以实现高效的过程稳定性和质量控制。该系统与各种晶圆尺寸兼容,最大可达12英寸。它还支持每批多达20个基板，从而实现高效的生产吞吐量。总体而言,NOVELLUS L 3510是一款高性能蚀刻器和Asher,能够产生具有出色的均匀性和吞吐量的精细分辨率蚀刻特性。其模块化设计和先进的过程控制特性使其成为中高吞吐量生产应用的理想选择。