二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9244581 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher是一款高性能、经济实惠的工具，旨在满足先进技术制造商的蚀刻/灰化需求。3510是与GASONICS Systems和NOVELLUS合作开发的,它将先进的蚀刻和灰化技术结合在一个平台上-即使是最先进和最先进的半导体器件也能实现高吞吐量和可靠的处理。3510采用了先进的射频蚀刻技术,提供精确、均匀的蚀刻。通过步进电机对蚀刻偏置的调整，进一步增强了该工艺，允许在0.5纳米的精度和重复性下进行小于1纳米的蚀刻。此外,3510还可以处理50至300毫米大小的晶片,并提供高达12.7英寸或320毫米的加工能力。3510还提供了一种消除半导体表面过程残留物的灰化工艺，从而消除了对危险化学剂的需求。该装置采用热增强等离子体工艺进行深、有针对性的蚀刻和灰化。通过使用直观的GUI界面轻松控制该过程,从而提供简单的设置和运行时方法计算。该装置还具有先进的气体输送系统，可提供卓越的气体控制和对有害化学品的均匀输送，以及一个化学喷射器，可实现包括专有添加剂的自动循环。此外，3510还配备了通用真空系统，具有可配置的气体分配歧管和可靠的抽水系统。GASONICS L 3510 蚀刻器/asher高度自动化,具有用户友好的控制功能,是进行蚀刻和灰化操作的理想工具。该单元有单室和三室两种配置,并配有多种选项和配置-使其适合各种半导体制造应用。3510以其创新的设计、卓越的性能和可靠性，是先进半导体制造的理想工具。