二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9270101 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是用于MEMS、半导体和光伏应用的先进多用途蚀刻器/粉碎器。每个系统最多可处理28个晶圆,每个盒式磁带最多可处理35个晶圆,包括200 mm和150 mm晶圆大小。GASONICS L 3510得益于优秀的并行处理能力，其中许多晶圆同时被蚀刻和灰化。它还利用智能脉冲过程和选择性蚀刻技术来产生具有高特征分辨率的3D结构。NOVELLUS L 3510提供超过99%的正常运行时间，加上出色的湿工艺性能，通过高精度速度和加速度算法实现。此外，可以对所有进程进行全面的监测、分析和报告，所有参数都可以精确调整，以取得一系列期望的结果。L 3510旨在提供改进的冷却能力和处理能力，同时使用CL2、O2、SF6、Ar、He和任何气体组合的高功率和低功率源。它为所有类型的蚀刻和灰化应用提供了一个真正通用的选项,包括背面氧化物、氧化物去除、沟槽、深反应性离子蚀刻、干蚀刻和深度控制蚀刻。GASONICS/NOVELLUS L 3510的可编程端到端处理功能允许设置和调整各种参数,为精确处理提供了灵活性。其电源可用于各种材料的蚀刻和灰化，包括二氧化硅、硅、钨和各种金属。GASONICS L 3510可处理170mm至300 mm尺寸的晶片。其先进的空腔和耐用的等离子体工艺，以及可编程射频发生器，使得这种多用途系统成为许多蚀刻和灰化应用的理想选择。加工过程随着时间的推移保持一致和准确,其内部空间旨在改进维护过程。NOVELLUS L 3510使用GASONICS创新的Software Toolbox，它提供了高性能的实时控制，并通过I/O监控提供了过程的完全可见性。Software Toolbox还允许用户通过将流程参数设置为多个流程来简化自定义过程参数,从而实现高效的生产和改进的质量标准。总体而言,L 3510是一款创新且功能强大的多功能设备,适用于各种蚀刻和灰化应用。其先进的特点和高精度的速度和加速度算法使得它成为一个快速和可靠的蚀刻和灰化需求的选择。GASONICS/NOVELLUS L 3510具有坚固耐用的设计,是各种行业和应用的理想选择。