二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9271641 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 asher是Advanced IC Manufacturing processes中使用的先进等离子体蚀刻器。这种先进的蚀刻器能够蚀刻各种材料层，包括硅、金属和电介质。它采用FlexEtch Advanced Etcher,通过提供超低温等离子体,以极高的速率提供精密蚀刻。使用GASONICS L 3510 asher,用户不仅可以获得蚀刻功能,还可以获得先进的过程控制、监控和分析工具。NOVELLUS L 3510 asher由一个机器人基板喷嘴和热加压氧气等离子体源组成，以其以理想的蚀刻速率蚀刻每一材料层的能力帮助优化蚀刻过程。其先进的工艺控制有助于保持蚀刻均匀性,消除阴影,并提供移位补偿,从而减少了对工艺后清洁和干燥的需求。它的高级工作站配备了一个适应性强的控制器，可以根据一系列流程参数进行重新配置，并且是高级流程监控和流程优化功能的主机。还包括一个先进的可视化设备，允许用户现场监测蚀刻过程。L 3510 asher还具有集成材料数据库、高级流程数据库和配方管理系统,有助于快速流程周转。数据库中装有重要的蚀刻指标和配方,用户可以从中选择和分析其处理配方,从而优化其设备特性和试点生产结果。此外，数据库附带了一个板载数据库更新程序，可以方便地为将来的进程和应用程序升级数据库。GASONICS/NOVELLUS L 3510 asher是为安全而设计的,提供标准的安全功能,例如互锁单元、远程排放控制、非过程监控和自动清除序列。保护机器还包括吸尘室清理传感器、排放监控器和紧急停止控制。此外，该单位拥有先进的软件和工具架构，以维护安全操作和下游环境合规性。GASONICS L 3510 asher是一种成本效应、可靠的工艺解决方桉，在半导体行业中脱颖而出，提供了产品产量和质量最佳的综合蚀刻解决方桉。