二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9292697 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher是一种中型干等离子体设备，允许用户同时蚀刻和粉刷晶片，创造高效而精确的结果。该工具提供了低压、低能蚀刻工艺，不需要湿法化学品、昂贵的工艺步骤和危险废物。它还易于实施和配置,以便在手动和自动化生产线中使用。该系统的蚀刻室由高工程弹性铝合金和不锈钢构成，利用优化的15千瓦射频发电机提供峰值功率输出。腔室压力维持在真空环境中，使反应性等离子体蚀刻和降低颗粒污染的风险。该单元还能够进行自上而下或自下而上的蚀刻工艺，以提高精度，并能够控制蚀刻的大小和方向。此外，线性中电流电源产生恒定电压，在整个晶片中保持均匀蚀刻，并且不需要补偿电源循环。GASONICS L 3510还提供了广泛的功能,包括自动抬起光掩模以保护微妙表面的光掩模升降机、远程监控以跟踪生产,以及集成的机器诊断以排除任何潜在问题。此外,该工艺室允许高吞吐量和大面积蚀刻,无步进覆盖范围限制。它还允许最小化的过程变化和均匀性，无论材料类型或设计。最后，NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher具有用户友好的图形用户界面，允许轻松操作和优化，提供实时反馈，并允许未来的升级和维护。该工具还设计用于多种行业，包括微电子学、生物-MEMS和LED，使其成为满足蚀刻和灰化需求的多功能高效工具。