二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299007 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Etcher/Asher是一种精密蚀刻沉积设备，用于高分辨率电子电路的高级处理。该系统由四个部分组成：工艺工具、微制造、等离子体灰烬和蚀刻器。所有部分均由GASONICS L串联过程控制器（IPC）自动控制。"工艺工具"用于控制整个设备,包括工艺持续时间、温度、压力和速率。它还支持两种不同的蚀刻技术,具体取决于晶圆上的应用。第一种技术是湿蚀刻，第二种是干蚀刻。采用湿蚀刻技术在晶圆上沉积金属.其优点是能够产生高分辨率、高环性的蚀刻结构。机器的Micro-Fabrication部分用于成形半导体元件。它采用专门的"微制造"工艺，使操作员能够以非常精确的方式塑造或蚀刻晶圆的成分。等离子体灰烬部分用于在任何蚀刻过程发生之前"清洁"晶片。它利用了一个被称为"等离子体灰化"的过程，这是将晶片暴露于等离子体以去除有机污染物和金属氧化物残留物的过程。Plasma Asher还可以进行蚀刻后清洁。"蚀刻器"（Etcher）部分是工具的核心。它能够在晶片上产生具有优良侧壁清晰度的高分辨率精细结构。它支持深反应离子蚀刻（DRIE）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、反应离子蚀刻（RIE）等蚀刻工艺。此外,该蚀刻器还采用先进的模式识别功能和生产数据的三维投影技术来处理要求最高的工艺配方。GASONICS L 3510 Etcher/Asher资产高度可配置,使用户能够根据特定的生产需求定制模型。它具有用户友好的界面，允许操作员快速设置和调整设备参数。其先进的性能特点，结合精密的蚀刻和精密的清洁技术，使NOVELLUS L 3510 Etcher/Asher成为高效而强大的蚀刻沉积系统。