二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299008 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher是一款功能强大的高性能工具,专为高容量和高通量的工艺步骤而设计。设备采用先进的蚀刻技术,提供卓越的性能和精度.其专利气体输送系统和高效过滤器确保了最佳工艺条件,而其精密的软件和多语言支持则确保了生产环境中的最大控制和灵活性。该单元包括一个多气体输送模块，由空气/氮气净化、真空界面和四条气体输送管线组成，用于工艺输送。该机还采用了获得专利的Mix Boost稀释工艺，以实现更大的浸入控制，获得专利的用于减少停机时间的自动补充算法，以及用于污染物控制的高级离子流。此外,它的模块化设计还提供了一个可选的RF模块,可在超低kV应用程序中运行,从而方便地集成到现有流程中。GASONICS L 3510蚀刻器提供精密气体溷合和获得专利的空气-气体净化工具，可以监测和补偿气体沉积，同时尽量减少颗粒污染。它的高级配置工具支持过程参数,包括速度、选择性、方向和蚀刻深度,并提供用于过程控制和数据收集的仪器。该平台还支持广泛的专业应用，具备配置和控制多种淬火气体溶液的能力，包括反应性蚀刻、除气和等离子体清洗。NOVELLUS L 3510与现有蚀刻工艺兼容，其模块化架构确保轻松融入现有生产线。支持广泛的接口,开放平台软件套件提供了低开销的自动化解决方桉,从而提高了流程的准确性和速度。L3510具有三年的硬件和软件保修期。所有这些功能结合在一起,使GASONICS/NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher成为高通量、大容量处理的理想解决方桉。