二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299009 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一种精密的蚀刻和灰化设备，设计用于处理晶圆处理，具有先进的精度、控制和吞吐量。它具有三级体系结构,允许采用低到中度模具选择性的高级蚀刻和灰化操作。GASONICS L 3510最适合在厚度高达0.45微米的情况下进行蚀刻和灰分沉积。该系统配有高级控制台，用于精确操作和监测蚀刻/灰化过程。它使用实时流程数据来确保尽可能高的性能。这款触摸屏控制台用户友好，提供了一个易于使用的界面来帮助编程任务。该装置有一个专利的四象限气体输送机器，允许精确蚀刻和灰化在广泛的领域。这个工具使用两个端口；一个供应低压，一个供应高压。流动趋向于保持均匀，两个方向均匀，背景压力可相应调整。此外，该资产还有一个内置的快速热处理装置，可以对若干材料进行快速热退火。这对于具有不同阶梯设计的晶片的处理特别有用。RTP单元在脉冲和恒热模式下运行，提供精确的温度控制。NOVELLUS L 3510还有一个集成的吸尘机构，采用多级真空模型，确保了出色的晶圆处理和过程控制。这包括一个真空源、闸阀和一个用于精确控制真空压力的控制器。最后，该设备有一个激光辅助扫描传感器，用于晶圆的精确对准和运动。这使得晶片可以轻松快速地从一个蚀刻位置移动到另一个蚀刻位置。激光辅助扫描传感器还能够精确调整蚀刻和灰度角，以获得最佳的蚀刻和灰度性能。