二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299010 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一种用于半导体制造的蚀刻和灰化设备。这一环保系统旨在根据行业标准和性能要求提供精确、高质量的光刻。GASONICS L 3510采用先进的横向电流蚀刻和灰化技术,通过底层防反射涂层,在0.35 μ米的尺寸上提供最大的蚀刻钝化和均匀性。其车载载波管理提供精确的目标内蚀刻控制，并设有前端面板，无需单独的计算机控制器。NOVELLUS L 3510是一种模块化单元，兼容高长宽比、高选择性蚀刻、精细特征修剪等应用。它为蚀刻提供了高达1,500W的功率,为增加大小特征尺寸的吞吐量提供了高达600W的灰度。该机器还具有可变强化电子源，可为宽线应用和高生产率过程提供最佳性能。此外,L 3510还包括高级诊断程序,可实现最大的刀具洞察力和控制能力,以及高级Endura软件,可增强流程控制。Endura软件允许高效使用资产和流程优化。它还提供全面的流程管理和安全的数据记录功能,使模型既通用又有用。GASONICS/NOVELLUS L 3510直观的用户界面和带有全彩色腔室插图的实时腔室诊断也增加了它的可用性。总之，GASONICS L 3510是一种先进、可靠的蚀刻和灰化设备，提供精确的光刻性能。它是半导体工业的理想选择，其前瞻性设计是寻求可靠高效光刻性能者的绝佳选择。NOVELLUS L 3510具有即插即用设置和易于使用的功能,是寻找蚀刻和灰化系统的用户的绝佳选择。