二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299011 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先进的蚀刻/asher设备，旨在为各种应用提供高质量的蚀刻解决方桉。它具有最先进的气体/液体输送系统，专门设计用于使用各种化学品和气体。该装置可配置为在不同的压力和温度下提供精确控制的液体或气体流动。GASONICS L 3510可以处理直径达200毫米的半导体晶片。它包括一个晶片盒式磁带和多个传输模块，用于将晶片从内部移动到加工室外部。该机使用了Ponderomotor-Controlled等离子体源，以高选择性蚀刻无缺陷材料。这个等离子体源可以调谐到几个不同的频率，以蚀刻不同类型的材料。该工具还配备了其他几项先进功能，如高功率射频发生器、多个独立区域温度控制、实时晶圆平坦度测量、高级矢量离子源和集成等离子体源。它还配备了一个功能强大的软件包，使用户可以在蚀刻过程中轻松监控和修改诸如电源、温度、气体和化学品等参数。为确保卓越的蚀刻性能,该资产具有多种安全功能,如紧急打开/关闭功能、超压和碰撞保护、可变压力安全阀和紧急气体关闭。NOVELLUS L 3510可以快速且精确的蚀刻各种材料，包括介电、金属和聚合物。其高精度蚀刻能力可以帮助半导体器件的性能最大化，提高产量。它是用于高容量、高精度操作的可靠、精密的蚀刻解决方桉。