二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299012 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款等离子体蚀刻器，旨在精确高效地蚀刻金属、金属合金、SiO2、TiO2、SiN等材料。由于其开放的体系结构，它具有高度可靠的射频设计和先进的过程控制算法。这使它能够启用需要高度精确度和灵活性的流程。GASONICS L 3510提供最先进的蚀刻工艺控制和计量能力。NOVELLUS L 3510使用高频和低频无线电频率跟随有图样的晶圆精确地创建或修改其表面。它还配备了先进的差分迁移率分析仪，用于测量蚀刻过程中蚀刻离子的电子能量分布，调整等离子体以获得所需的结果。这有助于确保等离子体不会蚀刻晶片太深或太薄，从而可能损坏或降解被蚀刻的设备或基板。L 3510配备了能够在原位模式和异位模式下运行的腔室。现场加工通常用于制造高度精确的零件，在加工过程中可以使用加工室对设备进行改装。在非原生境过程中，腔室一旦从腔室中取出，即用于对装置或基板进行处理和涂层。这提供了更快和更准确的过程，减少了污染的机会。GASONICS/NOVELLUS L 3510利用计算机控制的软件界面实现对工艺参数和设备设置的完全控制。它还采用模块化设计,用户可以轻松添加功能并进行升级。这使得GASONICS L 3510是一个用途非常广泛的蚀刻系统，能够处理各种蚀刻和清洁工作。NOVELLUS L 3510还配备了多项安全功能,可确保设备安全运行。这包括内置的超压保护机器，在压力突然增加的情况下关闭电源。此外，该工具还配备了警报资产，可以检测特定的过程问题并自动进行修正。L 3510是高效可靠的蚀刻模型,旨在帮助您获得可靠和高质量的结果。凭借其先进的功能和广阔的功能，这款设备一定能为用户提供可靠准确的蚀刻工艺。