二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299013 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款高级蚀刻器/asher,能够在各种材料上高速执行复杂的阵列处理。这台400 mHz的设备专为多处理、多层次的图样应用而设计，包括半导体、光电子、化学机械抛光和生物医学等行业的应用。GASONICS L 3510采用先进、最先进的蚀刻/灰化技术设计和制造,确保结果的准确性和可重复性。该系统配备了广泛的高级参数优化能力，允许精确控制参数和分辨率。该装置还得益于板载高分辨率成像机，以确保精确的图样和一致的结果。NOVELLUS L 3510包括四个晶圆载波和接口程序，精确控制晶圆定向和管理。该工具配备了一个软件控制的卡带提升资产，用于装载和卸载基板。L 3510具有自动快门模型,用于精确控制蚀刻和灰化处理参数。此外，该设备还包括一个带有旋转转盘的独立晶片装载室，能够清洁应用和去除不暴露于外部环境的蚀刻和灰化介质。GASONICS/NOVELLUS L 3510还提供了多种其他选项,包括高级图形用户界面（GUI）、实时监控功能、紧密耦合的船和温度控制室。总体而言,GASONICS L 3510是一款功能强大的蚀刻器/Asher,其一系列先进的技术使其成为需要复杂、高精度制图工艺的行业的宝贵选择。它旨在为用户提供非常准确、可重复的结果,而这只是传统蚀刻和灰化工具所需时间的一小部分。