二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299014 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款用于半导体制造工艺的先进蚀刻器/asher。它专为需要重复电容耦合等离子体（CCP）蚀刻循环的高通量应用而设计。GASONICS L 3510配备了高性能的腔室设计和两级气体输送，使其能够提供更高的吞吐量。NOVELLUS L 3510蚀刻室由低温兼容、与加工过程中产生的高温等离子体惰性的材料构成。这种材料组合确保了最高的蚀刻均匀性,从而提高了设备性能。此外，大容量的上部静电卡盘和大循环波纹管允许有效的等离子体处理。两级气体输送系统由两个独立的输送管组成，允许蚀刻器在等离子体处理过程中将不同的气体输送到腔室的不同区域。这样可以更精确地控制过程,从而提高蚀刻一致性。L 3510提供高级自动化选项,具有多种可编程功能,包括多平面蚀刻加工、多气体排放以及两个腔室中每一个的独立排水循环。它还具有一个大型触摸屏监视器,可提供有关流程的实时信息,以及一个远程控制界面,使技术人员能够从远程工作站调整流程参数。为了增加安全性，GASONICS/NOVELLUS L 3510有一个集成的等离子体检测系统，可以检测过程何时超出规格，并将立即关闭系统。此功能可确保过程安全,并且不会对晶圆或设备造成损坏。总体而言,GASONICS L 3510是一款先进的蚀刻器/asher,可精确控制蚀刻过程,从而提高吞吐量并提高设备性能。它非常适合高蚀刻均匀性至关重要的应用程序,并提供具有可编程功能的增强自动化。