二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299015 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款高度先进的蚀刻/asher设备，专为满足半导体行业苛刻的生产需求而设计。该系统采用Q-200高速Q开关,可提供高达200纳米/秒的卓越均匀性和高沉积速率。该设备还具有高达75毫巴的气体运行压力,可通过更快的工艺周期实现高效吞吐量。此外,由于其X-Y扫描安装,该机器能够同时暴露大面积,最高可达22瓦/平方厘米。GASONICS L 3510通过其广受赞誉的开环感应和Match™控制提供了过程稳定性,它允许在蚀刻过程中实时调整关键参数。这使用户能够微调蚀刻过程,以确保配方针对最佳的最终产品进行优化。该工具还具有智能自动化功能,可最大程度地减少操作员参与重复的手动过程。NOVELLUS L 3510也是为安全而设计的，拥有M级屏蔽，最小的污染风险和降噪。另一个安全特性是潜望镜视图，可以观察腔室内部。该资产还配备了GASONICS专有µV™模型，可实时测量和监控等离子体电位。这使得等离子体设备可以安全地免受过大电压堆积在工艺室内引起的潜在短路的影响。为确保最佳性能和最大吞吐量,L 3510配备了创新的P-Ingregated摇篮,可实现更精细的基板对准和降低基板上的热梯度。这是蚀刻高长宽比特征时的一个重要特征,这些特征可能会因热量累积而损坏。该系统还具有跨X轴和Y轴的均匀屏蔽,以及等温隔离的RF/DC组件。GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先进且功能强大的蚀刻器/asher单元，设计时考虑了半导体行业的需求。它为用户提供了高度的过程控制、优异的性能和前所未有的安全性。它是从高长宽比蚀刻到特殊基材和工艺等各种工艺的理想机器。