二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9308469 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9308469
优质的: 1995
Asher
Spare parts and µ-wave RF-generator included
Control screen (Shows ribbons) and robot PCB non-functional
1995 vintage.
GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款高速蚀刻器和asher，用于半导体行业内广泛的晶圆加工应用。该设备采用大气压化学气相沉积（APCVD）和顺序板旋转蚀刻（SPRE）等先进技术高速处理晶片。GASONICS L 3510具有广泛的功能，包括将氧化物、氮化物和多晶硅涂层沉积到硅晶片上，蚀刻复杂的图样和结构，从晶片表面去除不需要的材料。NOVELLUS L 3510提供高速性能和可靠的操作。该系统的工作速度高达每小时50个晶圆，能够控制多达六个独立的腔室。它还可以处理各种直径（8"至12"）的晶片。该机具有自动净化和加工液体管理能力，确保清洁的工作环境和一致的结果。该单元配备了坚固的机械臂和运动控制机，可以快速准确地校准蚀刻和灰化过程。L 3510采用了广泛的先进工具和技术，如紫外线电子束光刻、测序气体引入、等离子源技术等。该工具配备了先进的安全功能，如自动软件保护，以确保安全的工作环境。此外，用户可以实时监控工艺参数和生产，从而实现对工艺的最佳控制。GASONICS/NOVELLUS L 3510为半导体制造商提供了若干好处。其先进的过程控制能力和高速性能可以提高周期时间和产量,从而提高生产率并提高产量。而且，GASONICS L 3510配备了先进的安全功能，保证了安全的工作环境。此外，该资产拥有成本低，设计可靠性高。总之，NOVELLUS L 3510是半导体行业最先进的蚀刻器和asher的理想选择。高速可靠的模型提供了广泛的功能和特点，能够控制多达六个腔室。L 3510具有很高的可靠性和经济效益,并提供了更好的周期时间和产量,使其成为半导体制造商的绝佳选择。
还没有评论