二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9373158 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一种等离子蚀刻设备，用于在基板上制造精细的结构，用于制造集成电路和其他电子元件。它基于利用反应性气体形成等离子体进行蚀刻或反应性离子蚀刻（RIE）的方法。该工艺用于在包括金属、硅、石英和陶瓷在内的基板表面上创建结构。GASONICS L 3510的主要特点是由于其在控制蚀刻参数方面的灵活性，包括蚀刻速率、蚀刻深度、特征尺寸等，使得其蚀刻能力非常精细和精确。这样可以实现高精度和高精度的蚀刻。NOVELLUS L 3510蚀刻深度精度小于1毫米，50毫米× 50毫米（2 "× 2"）磁场尺寸，蚀刻速率为1-10 nms。此外,该系统还具有逐步调整燃料优化程序,从而减少了蚀刻的时间和成本。L 3510还增加了安全特性，使其适合一系列工业应用，包括碳化硅等高性能材料和类似金刚石的涂层。其中包括一个熔炉封闭的射频室，一个易于清洁的裸露内壁，以及一个捕获危险颗粒的HEPA过滤器。由于其不锈钢结构和远程操作能力，该装置非常适合工业环境。在操作参数方面，GASONICS/NOVELLUS L 3510具有高达700 °C的基质温度能力，压力范围为1.1-10.0 mbars。机器还支持多种工艺气体，包括氯气、氟气、氙气、氮气或这些气体的组合。它还设有一个气体控制基座，使人们能够方便地使用气体分配工具，并实现精确的气体控制。最后，GASONICS L 3510配备了直观的触摸屏界面，允许用户监控和控制蚀刻过程。资产还包括提供详细蚀刻报告和过程记录的数据记录器。总体而言，NOVELLUS L 3510是一款高效、准确、用户友好的蚀刻器，适合多种工业应用。