二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9374853 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先进的用于半导体器件制造的蚀刻/灰分设备。与其他蚀刻/灰烬系统相比，它具有较高的吞吐量、较高的沉积均匀性和较高的模式保真度。凭借高通量,系统可以支持生产级吞吐量,同时提供高达6英寸晶圆的灵活性和可扩展性。该过程在前体模块中开始,该模块设计用于在蚀刻或灰化步骤之前对设备进行预处理。该模块容纳了包括氯气、氮气和氟气在内的各种化学前体的大的单一剂量源。这种前体的组合导致了更密集的层沉积，改进了模式，减少了加工时间。在Etch/Ash模块中,晶片被放入一个包含蚀刻/灰烬源的加工室,并暴露于化学物质的组合中。一系列背对背脉冲步骤确保了均匀沉积和蚀刻，而高速反应离子蚀刻过程则蚀刻了器件图样。等离子体源模块利用高频发电机创建等离子体，向所需的材料提供能量，以便进行蚀刻和灰化。与湿蚀刻/灰分系统相比，等离子体源还支持改进的介电覆盖范围、更高的长宽比和更快的处理时间。此外,GASONICS L 3510还配备了用于实时监控、趋势显示和日志文件检索的多功能日志。这允许用户监视所有进程参数,并允许设备在每次运行前完成对进程室的完整扫描。这样可以确保一致性、准确性和可靠性。NOVELLUS L 3510是一款用途广泛、功能强大的蚀刻/灰烬机，旨在为晶片提供长达6英寸的时间和经济高效的处理。它兼具高通量和优越的模式保真度，是半导体器件制造的绝佳选择。