二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9387796 待售
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GASONICS/NOVELLUS L 3510是最先进的Dry-Etching/Ashing工具。这一单元设计用于使用等离子体蚀刻和蚀刻气体的组合来精确蚀刻和粉刷半导体基板。这种设备能够在硅、III-V化合物或任何其他半导体材料等各种基板上产生非常精细的特性和细节。GASONICS L 3510的高级蚀刻和灰化功能有助于在基板表面上创建非常清晰和清晰的特征。该系统配备了许多强大的功能，旨在帮助最大限度地提高蚀刻和灰度精度和性能。NOVELLUS L 3510的主要争论是气体输送单元，它允许精确控制蚀刻环境，调整蚀刻过程中气体的压力、温度和成分，有助于最大限度地减少污染并保持均匀性。此外，蚀刻和灰化过程中使用的气体可以根据所加工基板的类型而改变，从而使蚀刻参数适合特定材料。L 3510还具有先进的等离子体源,有助于去除基板表面的任何污染物,确保在蚀刻和灰化之前表面光滑平整。蚀刻和灰化过程是在真空环境下进行的，具有使用低压氮气（LPN）腔室帮助清除蚀刻腔室中任何有害残留物或污染物的可选能力。GASONICS/NOVELLUS L 3510也可用于进行快速热处理（RTP）等高级热处理，如果需要用于基板表面细化或去除污染物。该套件高度自动化，使GASONICS L 3510的设置和操作得以快速高效地完成。它还支持大量可以编程的配方,从而提高了对蚀刻和灰化过程的控制程度。该机器易于使用，其生产级特性使其成为各种蚀刻和灰化工艺的经济高效的工具。NOVELLUS L 3510还得到全球合格应用专家网络的支持,有助于确保最佳蚀刻和灰化性能。
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