二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9392635 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先进的蚀刻器/asher设备，将等离子体、化学和物理蚀刻工艺结合在单一集成工具中。这个先进的系统适用于广泛的应用，从先进的互连到复合半导体器件。该蚀刻器/asher具有一个集成的机器人晶片处理单元，该单元具有四个独立的腔室，每个腔室都有自己的气体和过程控制。机器还提供了一个可选的多步骤过程，允许用户在每个房间中定义最多八个食谱。此功能允许蚀刻器/asher在一个周期内处理多个基板,从而提高吞吐量和用户灵活性。GASONICS L 3510利用热蚀刻和化学蚀刻技术。热蚀刻是使用反应性离子蚀刻器/等离子体蚀刻器完成的，它能够产生高达100瓦的等离子体条件。该工具还具有可调烘烤工艺，以帮助优化基板表面制备。等离子体蚀刻器辅以化学蚀刻工具，利用多种化学物质去除材料。该资产旨在提供高分辨率的临界尺寸控制,其光掩模成像精度低于0.5µm。这是通过将一个成像模型与一个以砷/氮化物/砷化物为基础的沉积单元耦合而实现的。此外，设备还可以处理直径不超过250毫米（8英寸晶圆）的基板，并具有内部真空法兰，工艺压力从1 mtor到100 mtor。NOVELLUS L 3510是一款多功能紧凑的系统，非常适合制造精细几何形状μ VLSI电路、光子和微波器件、互连和光学元件。这种组合蚀刻器/asher单元提供精密的表面处理和各种基板的蚀刻和粉刷，具有很高的通量和很高的可重复性。其卓越的可靠性和性能使L 3510成为高级蚀刻和灰化应用的理想工具。