二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9396061 待售

GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510是一款为半导体制造而设计的最先进的蚀刻/asher设备。利用汤姆森散射和高能源，GASONICS L 3510能够将光刻胶和其他材料精密蚀刻和灰化到亚微米级。该系统由离子源柱、离子光学柱、静电透镜、离子能量倍增器和离子能量传感器组成。此外，一系列室内光学和工艺技术由一个专用的C控制P处理器控制。NOVELLUS L 3510上的高级分析单元具有高间距表面分析功能,能够去除敏感材料并进行钝化,从而支持高级光学材料的完整性。L 3510最显着的特点之一是可调气体喷射机，它允许选择两个级别的高能粒子--优化蚀刻和灰化，从而有效地对结果进行超细调谐。GASONICS/NOVELLUS L 3510接受多种晶片类型，如硅片、砷基晶片和石英晶片进行蚀刻和钝化。包含在GASONICS L 3510上的分析套件还允许用户实时监测测量总离子输出、离子能量均匀性、离子束位置均匀性、腔室压力等过程变量。使用可选的ConsuL Turbo EC多腔室工具,可以链接多个NOVELLUS L 3510 蚀刻器/asher系统,从而实现对多个晶片的自动化处理和分析。L 3510还拥有出色的数据处理能力和通信接口系统。内置图形用户界面（GUI）可启用数据分析,例如深度配置文件。总体而言,GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510是一款面向性能、可靠且经济高效的蚀刻器,可用于现代半导体制造。