二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9400257 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一种蚀刻器/asher，可以用来将层从硅晶片转移到薄膜基板上。该装置设计用于高精度的窗口和表面轮廓成形，与多种蚀刻和沉积化学方法兼容。它是微量和纳米级加工的绝佳选择，可用于光伏电池制造、化学/气体传感、MEMS/NEMS技术等工艺。GASONICS L 3510配备了多种特性，使其成为蚀刻和灰化的理想选择。它具有先进的光学窗口组件和集成的聚焦控制、可轻松配置以满足应用需求的模块化设计、双光束柱体系结构以及坚固的高密度电源设备。该装置还具有一系列环境控制参数，包括先进的气体净化和真空系统、温度地理相关、冷却剂处理等，以实现安全可靠的操作。此外,设备还配备了可实现高达50 nm精度的直接写入系统,从而获得极其精确的结果。性能方面，NOVELLUS L 3510设计为最大精度和弹性。它能够在低至10e-6 Torr的真空水平下运行，沉积速率高达200 A/min，蚀刻速率高达20 mA/cm2。它具有一个直流电源单元,可在600V和5kW以下运行。此外，该装置还配备了一系列诊断工具，包括敏感光束电流表、能见度监视器和气体传感器。L 3510易于维护和服务。该设备配备了一系列监控参数和可调操作模式控件，便于诊断和故障排除。此外,该设备还配备了一系列安全功能,包括增强性能的自诊断机。该设备还与一系列兼容消耗品兼容,便于更换和清洁房间操作。总之，GASONICS/NOVELLUS L 3510是一种先进的蚀刻器/asher，设计用于高精度的窗口和表面轮廓成形过程。它配备了多种特性，使其成为微观和纳米级应用的绝佳选择，同时也提供了可靠和安全的操作。在性能方面，该装置具有高精度，并提供一系列可调节的参数。GASONICS L 3510易于维护和维修，是蚀刻和灰化工艺的理想选择。