二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010 #9230241 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3010是GASONICS Systems为生产半导体材料时所使用的基板的精密蚀刻而创建的蚀刻器/asher。该机采用双光束成像设备，将CO2激光器与电子束（电子束）光刻系统相结合。这种组合允许对圆形、正方形和矩形基板进行成像，其分辨率和精度都比竞争的蚀刻器更高。GASONICS PEP 3010处理多种底物，包括砷化铵（GaAs）、硅、磷化铵（INP）、​​的和等化合物半导体材料。蚀刻器设计用于处理表面几何形状平坦、厚度从0.1mm到0.25mm （1/10到四分之一毫米）的基板。它还处理各种蚀刻速率,可在不同深度复制,并可容纳半导体工业中可用的各种掩模尺寸和基板。蚀刻器包含两组专用组件。第一组是成像装置，由激光和电子束光刻工具组成。激光模块具有反射镜、光束扩展器和检流计反射镜，用于聚焦激光束，精确瞄准所需的基板面积。第二组包含气流组件，其中包括一个气气室、一组螺线管阀门和一个电导控制的淋浴头。这些组件用于精确调节蚀刻气体的流动，从而获得所需的蚀刻速率、深度和轮廓。NOVELLUS PEP 3010可以通过人机接口（HMI）预编程不同蚀刻任务的配方。食谱允许用户编程定制的蚀刻参数，如气体流量、气体压力和温度、电压以及脉冲持续时间。该机器还具有一组警报和一台自动恢复机器,可以提醒用户在蚀刻过程中可能出现的任何问题。PEP 3010与几个外围组件协同工作,例如喷射蚀刻器和自动基板装载机/卸载机。射流蚀刻器利用反应性气体射流与惰性气体结合，以高速和高分辨率引导蚀刻，进一步提高了蚀刻工艺的精度。自动基板装载机/卸载机在蚀刻器和喷射蚀刻器之间运输基板，提高了蚀刻过程的效率和吞吐量。GASONICS/NOVELLUS PEP 3010是生产半导体材料的理想工具。其体积相对较小、速度和分辨率较高、配方先进，可实现蚀刻的最大效率和精度。此外，该机器被设计用于各种工业环境，从而使其成为一种用途极为广泛但功能强大的蚀刻工具。