二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824443 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 3000是一款先进的蚀刻机/asher机器，利用数字成像处理（DIP）和无缝层处理（SLP）等先进技术，在多种材料中创建精确的特征和表面。该系统精度高，适用于高精度、高速的制造应用。该机提供两种不同的腔室选项，包括一个ICP腔室和一个大型的金刚石-硬腔室，具有用于多波运动和可调节蚀刻角度的集成运动级。GASONICS Aura 3000提供三个独立的DIP源，包括射频发电机、微波发电机和可变电弧等离子体发电机。这些独立的来源保证了蚀刻的最高质量。机器还具有三个独立的独立DIP源隔离器，这样在蚀刻过程中不会发生污染。NOVELLUS Aura 3000还提供激光探测器来识别要蚀刻材料中的关键特征。这样可以进行更精确的蚀刻,并确保表面光滑和减少材料磨损。此外，该机还包含集成视觉摄像头，帮助系统对准并监控蚀刻过程。Aura 3000还包含一系列过程控制反馈工具,这些工具使蚀刻过程更易于管理和更准确。这些反馈工具监视过程，以确保在蚀刻周期的每个阶段都保持精确的条件。除了这些过程控制功能外，GASONICS/NOVELLUS Aura 3000还包含了快速蚀刻速率、脉宽扫描、分段扫描和延迟命令等高级控制功能。这些先进的控制功能使用户能够完全控制蚀刻过程，使蚀刻效率很高。最后，GASONICS Aura 3000是为在恶劣的生产环境下长期耐用而打造的。它被设计成经常性使用，并用耐腐蚀的不锈钢建造。这保证了机器将长期保持其精确的精度，并将在最极端的生产条件下可靠地工作。总体而言,NOVELLUS Aura 3000是一款功能强大且可靠的蚀刻/灰烬机器,提供专业级别的功能、性能和准确性。其先进的功能、控制和内置的可靠性使其成为高精度、高速蚀刻和灰化应用的首选。
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