二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824576 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一种最先进的蚀刻器/asher设备，用于在各种基板上进行微加工装置。它能够使用化学气相沉积（CVD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）对基板进行制图、蚀刻、平面化和涂覆，用于设备的微加工。该系统有四个独立的反应室，允许在单个底物上完成多个过程。GASONICS Aura 2000有两个独立的气体输送系统，一个用于CVD，一个用于PECVD。该机组设有超声波加湿器，用于控制反应室的湿度，确保汽化气体环境均匀。加热室还配备了大功率等离子体源，使特征的蚀刻和平面化成为可能。此外，可以使用多晶石涂层在大面积的结构化表面上保形沉积薄膜。NOVELLUS Aura 2000的控制器具有易于使用的图形用户界面软件,使用户能够设置和监视其进程运行。该控制器可以连接到机器中的其他计算机，允许远程操作和监视。远程接口还允许远程工具诊断和更新。Aura 2000是一种高级蚀刻器/asher，用于执行各种图桉、蚀刻和涂层工艺。四个独立的反应室、双气体输送系统和集成控制器使其成为设备微加工的强大工具。该资产还与模型中的其他系统兼容，允许远程操作和监视。
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