二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824582 待售
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GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A是一种蚀刻器和asher设备，利用一组排序的物理和化学过程来实现电路板和半导体元件上复杂形状的制造。它配备了来自氮氧溷合物的高分辨率等离子体束，聚焦于目标区域，提供所需图样的高精度成像。该系统能够实现可重复和可重复的过程,其精度高达0.02 μ m,比行业标准高出三倍。GASONICS PEP 3010A可配置用于步进光刻、干蚀刻、溅射沉积和聚焦离子、等离子体植入离子束等多种亚微米工艺。此外，NOVELLUS PEP 3010A能够进行表面蚀刻和导电金属层的沉积，以构建复杂的集成电路结构。它配备了一个定向等离子束的多向束偏转站，允许等离子体驱动的光刻在0.02微米。PEP 3010A有一个集成的等离子体供应单元，旨在确保在所需压力和流量下提供必要的气体，以便进行高效处理。它还配备了一个闭环控制器，不断监测和调整气体流量和气体成分的优化。它还设计了微型抽吸系统，可以精确控制蚀刻和溅射速率，以及金属沉积层的确切时序。机器还设计有一个自动化的端点传感工具，允许精确控制所需的蚀刻速率和层厚。当达到所需的轮廓和层厚度时,此资产会持续监控蚀刻过程和信号。此外，GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A还配备了先进的诊断模型，具有快速准确的故障检测和自动恢复功能。一套完整的工具,允许方便可靠的维护完成包.GASONICS PEP 3010A的设计满足了当今最具挑战性的蚀刻要求,提供了最先进的工艺所需的灵活性和精确度。精确成像、快速准确的端点传感和自动化维护相结合,使NOVELLUS PEP 3010A任何蚀刻和溅射应用的理想解决方桉。
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