二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3500 #9202560 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3500是一款最先进的蚀刻器/asher,可为直径不超过6英寸的基板提供卓越的性能和工艺灵活性。它可以用氧化铝或石英PETR单步加工晶片。GASONICS PEP 3500具有低腔室气流设计,可延长运行时间,提供精细的点和间隙填充以及复杂的结构。它有独立控制电子束枪更严格的过程控制。每把枪都是可编程的，功率高达500瓦，可以以每分钟40英寸的速度在基板上移动。光束枪集成到模块化、全场、磁化的源支架中，提供了选择源的灵活性，并允许广泛的材料蚀刻和灰化要求。其优化的压力控制系统在加工过程中保持较高的基础压力水平。为了提高安全性，整个腔室由不锈钢制成，设计用于工业环境中的长期运行。该系统还具有冷却系统，在加工过程中防止热量积聚和保护基板。NOVELLUS PEP 3500配备了多级安保措施，符合安全分析和/或职业健康安全管理系统的要求。此外,车载高速维护调度程序允许采取主动和预防性的维护措施。总而言之，PEP 3500 蚀刻器/asher提供卓越的性能和工艺灵活性，使其成为任何半导体蚀刻应用的理想选择。