二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Iridia #293658056 待售
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ID: 293658056
晶圆大小: 8"
Asher, 8"
Dual chamber
Component configuration:
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAYA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Lift and right PCM
(2) MISC Controllers
(2) Gas controllers
(2) M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHREM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
ASTEK D13765 M/W Generator (Right side)
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves.
Gas supply:
Gas name / Range / Size
CF4 / 200 mm / 1/4" VAC
N2 / 500 mm / 1/4" VAC
O2 / 500 mm / 1/4" VAC
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC
NF3 / 20 CC / 1/4" VAC
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC
Purge N2 / - / 1/4" VAC
Utility description:
(4) QC6 Connectors
(2) ISO 80 Chambers
(2) 3/8" SWG Male chambers
Misssing parts:
YASKAYA XU-RCM 4700
ASTEK D13765 M/W Generator (Left side)
Power supply: 208 V, 5-Wire, 150 A, 50/60 Hz, 3 Phase.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia是为先进的半导体应用而设计的先进蚀刻/asher设备。它是一个装有180瓦直流等离子体源的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）系统。它配备了一个源功率控制单元，可以0-180瓦以0.1瓦为增量，允许精确控制蚀刻/灰化过程。该机还具有每分钟5-1000转（rpm）的基板旋转能力，由CCD相机控制，用于精确的基板定位。GASONICS PEP 3510 Iridia设计有石英蚀刻/灰化室，使用最多两到四种气体进行蚀刻和灰化。石英确保蚀刻和灰化过程不会受到诸如金属等在过程中可能分解的污染物的污染。NOVELLUS PEP 3510 Iridia还有一个气体输送装置，可以将各种气体溷合物输送到蚀刻/灰化室。这使用户能够微调控制蚀刻和灰化过程的闸阀的开启和关闭时间。PEP 3510 Iridia具有高纯度离子源，90度角，功率高达200瓦。它能够产生各种离子和自由基，可用于蚀刻和灰化。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia有一个多层的气体控制机，能够进行精确的蚀刻/灰化水平，并能够设定广泛的工艺参数，例如蚀刻/灰化持续时间、压力、温度和流量。最后，GASONICS PEP 3510 Iridia配备了等离子体监测仪，能够实时测量气体浓度。该监视器还使用户能够实时查看等离子波，以确保最佳工艺条件。最后，NOVELLUS PEP 3510 Iridia是一款高端蚀刻/asher工具，设计用于先进半导体材料的精密、受控蚀刻和灰化。它的高级功能为用户提供了对流程参数的控制,并使他们能够实时监控流程,使其成为蚀刻/灰化操作的理想工具。
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