二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293753218 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus是一款为先进的半导体器件处理而设计的蚀刻器/asher。它是一个多盘蚀刻器/asher，有四个独立加载的晶圆盘支架。该机具有先进的工艺控制、高吞吐量、低总拥有成本等先进功能。GASONICS PEP 3510 Plus具有单一晶圆加工室,具有优化的蚀刻和灰化功能。它有一个方便的访问前面的负载/卸载门，使晶圆传输和加载在一个步骤。它具有晶圆保持机构，以确保精确的运动和适当的晶圆到腔室对准。该腔室包括层蚀刻分配（LED）工艺，以提供卓越的等离子体蚀刻控制，并实现精确的层厚度控制。NOVELLUS PEP 3510 Plus还采用了优化的高通量端点检测算法（ETD），以减少过程变异性，提高层均匀性。它使用带有层蚀刻监控器（LEM）的自动化原位过程监控,通过监控蚀刻过程参数和过程时间来减少浪费和最大程度地减少层厚度损失。最后,PEP 3510 Plus具有资源智能功能,能够确定最佳配方和工艺周期,以实现所需的设备结构特性,提高设备产量并降低总拥有成本。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus旨在处理先进半导体器件加工的最高吞吐量要求，并给出优异的效果。具有高温钛蚀刻室,蚀刻均匀,具有优良的灰化性能.它还具有低能量输入设置，以减少颗粒污染并提高设备可靠性。GASONICS PEP 3510 Plus的高精度结果在标准间隙和复杂设计中实现了20纳米以下水平的蚀刻和灰化。该机器还被设计为符合适用的安全标准，包括OSHA、NFPA和CSA。总体而言,NOVELLUS PEP 3510 Plus是一款多板蚀刻器/灰化器,具有增加工艺控制、实现精确的层厚控制、减少工艺可变性、最大限度地减少层厚损失和降低总体拥有成本的特点。它具有较高的吞吐量能力和优化的端点检测功能,可确保卓越的工艺效果。这使得它成为高级设备处理的理想选择。