二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293794156 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus是一款多功能蚀刻和灰化设备。它是一种高度自动化、高度灵活、易于使用的扩散、植入、蚀刻和加工基材的系统。它有一个带有全自动基板交换单元的阶段，可以连续加载多达四个源盒式磁带的基板。机器通过改变asher和etcher模式、腔室配置和基板直径提供最大的灵活性。该工具还允许快速加载周期时间,从而减少停机时间。资产还带有一个高温蚀刻室和一个asher室。一个大的单氯-硅烷喷嘴用于在蚀刻和灰化过程中供应低温均匀的反应性气体。喷嘴配有可调气体输送模型，允许在整个基板上均匀分布气体。GASONICS PEP 3510 Plus也有一个直驱控制设备，以更高的过程控制精度。该系统还具有一个全向晶片运动控制单元，旨在减少基板失真和振动。模块化机器允许从内存中存储和检索各种各样的过程配方。用户可以创建蚀刻、灰化和其他前端或后端流程步骤的配方。该工具还包括一个计算机辅助过程工程（CAPE）软件包，使用户能够为专门的过程对资产进行编程。该模型旨在提供高吞吐量、低粒子碰撞和低功耗。它还设计用于低真空或高压环境，使其非常适合晶圆制造、半导体器件制造、磁盘驱动器制造和MEM制造等各种应用。NOVELLUS PEP 3510 Plus是实验室或生产环境的理想设备。它采用了一套高质量的组件,使其可靠、耐用且经济高效。