二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #293587292 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是最先进的蚀刻器/asher。该腔室设计用于生产环境，最多可容纳五个工艺腔室和一个或两个预先清洁的腔室，具体取决于配置。这个先进的工具能够执行单个晶片以及多个晶片的批处理。GASONICS PEP 3510具有Iontek升级功能,可实现精密离子植入。它有一个与源旋转防御设备互换的源室和一个7x10力传感器来测量植入的均匀性。基板支撑室集成了凸起升降机，有助于防止基板上的污染和热梯度。气体输送系统最多可提供四种不同的气体溷合物，并配有一个保持清洁稳定环境的电阀连接和压力控制单元。该室还拥有先进的温度控制和冷却机。它包括一个内置的冷却器和一个提供温度范围为0到600C的温度控制环境的炉。室内温度由GASONICS ThermalVision Tool监控。为确保真空密封密封,NOVELLUS PEP 3510标配两个坚固的闸阀。第一个阀门调节电压输入，而第二个阀门特别保持紧密的真空环境。此外，PEP 3510还具有高性能的专用气体传感器和探测器，以提供更多的防止污染和沉积的安全性。该室配有先进的三向自动等离子体功率控制资产和优越的等离子体源。这确保了可重复、无缺陷的处理,并能更好地控制蚀刻。此外，该工具具有具有阻抗机器人的可编程边缘成功入射模型，用户可以轻松调整其蚀刻的边缘轮廓。为确保清洁处理环境,GASONICS/NOVELLUS PEP 3510配备了功能强大的NOVELLUS Pulse-O-Mizer设备。该系统能够产生极低能量的等离子体脉冲，用于去除颗粒，创造稳定无颗粒的操作环境。总体而言,GASONICS PEP 3510是一款出色的蚀刻器/asher。它具有有效的设计,具有执行精密蚀刻和灰化过程所需的所有必要功能,以及确保安全工作环境的附加安全功能。