二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195884 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是一款高速等离子蚀刻和灰烬工具，可用于多种行业环境。该设备通过利用行业标准的设备和工艺提供了高度的工艺精度。GASONICS PEP 3510的高级精度和性能非常适合任务关键和精细的任务,如MEMS和RF设备,在这些任务中必须有严格的公差。NOVELLUS PEP 3510提供了兼具蚀刻功能和灰烬功能的多功能功能,允许用户在两种模式之间切换,而无需进行额外的工具更改。这使制造商能够快速轻松地在过程之间过渡,而无需进行昂贵且耗时的工具重新配置。PEP 3510还具有内置温度控制器,可确保整个系统的温度均匀,从而获得最佳的工艺结果。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510破土动工设计，将专利气体输送单元与机加工真空室相结合，得到了更高精度和重复性的最佳等离子体蚀刻器。这种先进的技术使该工具能够提供+/-2um的蚀刻均匀性额定值,从而确保无论环境如何都能获得一致的结果。GASONICS PEP 3510还包括一个集成的腔室清洗功能，消除了耗时的手动清洗。NOVELLUS PEP 3510提供了一系列高级流程监视选项,可针对每个应用程序定制这些选项。过程流的实时显示和较短的周期时间使蚀刻工作更加高效可靠。该机还拥有先进的安全系统，配有紧急关闭开关、腔室灭火工具、快速减压阀和紧急停止功能。PEP 3510是一款非常有效的蚀刻器和asher,可为用户提供动态的一系列功能,包括高速蚀刻和灰烬的能力,以及出色的各种尺寸和基板的工艺均匀性。此资产能够将复杂的图桉和形状蚀刻到各种材料上,并具有可重复性和准确性,甚至可以满足最具挑战性的行业要求。先进的安全系统和集成腔室清洁功能提供了额外的便利和过程控制。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是一个理想的解决方桉,适用于各种寻求高性能和可靠性以满足其蚀刻和灰化需求的企业。