二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195885 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 蚀刻器/asher是一种用于先进微加工工艺的高性能等离子体蚀刻和灰化设备。它被设计成一种经济高效、经济高效的硅基薄膜层蚀刻和灰化解决方桉。GASONICS PEP 3510结合了专利的协流淋浴头设计、多层屏蔽以及其他先进的蚀刻技术，提供了超精密、高精度的蚀刻工艺。该系统能够实现非常薄的蚀刻和最小的污染。NOVELLUS PEP 3510利用专利的共流淋浴喷嘴，将蚀刻剂和耦合蒸气分成八个象限。这会产生一个均匀而精确的蚀刻过程，而不会产生微蚀刻失真或排空。PEP 3510具有一个专利的多层屏蔽单元,它区分蚀刻剂和耦合剂以改进过程控制。机器为蚀刻过程提供了一个热隔离环境，最大限度地减少了微蚀刻失真。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是一款极快且经济的工具。它能够实现高达每分钟30微米的蚀刻速率。它能够同时处理大量的基材，并且能够容纳各种各样的供应商。该资产采用通用蚀刻配方，与多种气体兼容，导致工艺复杂性和时间降低。GASONICS PEP 3510提供了许多附加功能,以确保尽可能高的产品质量。利用双频分布式电源防止电源波动，提供稳定的蚀刻环境。NOVELLUS PEP 3510还具有可编程的产品提升和配方优化功能,能够精确控制过程参数。最后,它提供多种安全功能,包括远程监控、紧急关闭开关和过滤排气模型,以确保操作员的健康和安全。总体而言，PEP 3510 蚀刻器/asher是先进的微加工工艺的绝佳选择。它提供了一种精确、快速和经济高效的方法，可以在污染最小的情况下蚀刻和粉刷薄膜层。它结合了先进的技术、创新的特点和安全措施，使其成为硅基薄膜层蚀刻和灰化的理想选择。