二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9312374 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是一种用于半导体器件制造的蚀刻和灰化设备。它是一个高端系统，结合了两种最流行的工艺技术--等离子体蚀刻和带状灰烬。它具有较高的吞吐量,能够实现过程集成,从而实现蚀刻和灰分过程的高产率。GASONICS PEP 3510由主控制模块、真空单元和工艺室组成。NOVELLUS PEP 3510包含一个用户界面,可通过其计算机控制机器实现自定义配方设置。真空工具控制着工艺室的压力，是真空操作的，而主控制模块则提供了对所有工艺功能的完全控制。PEP 3510使用比传统蚀刻技术具有更高选择性和蚀刻速率的等离子体蚀刻工艺。等离子体蚀刻工艺减少了蚀刻面膜上的载荷大小，从而提高了产量，减少了污染的机会。蚀刻过程可以在单一方向或双方向上执行,并且能够独立控制蚀刻方向。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510还提供了利用灰室从晶圆中剥离氧化物层的带状灰工艺。它是一种比湿式剥离工艺更有效率的干式剥离工艺。灰室可以单步或多步模式操作，用于高度集成的工艺步骤。此外，GASONICS PEP 3510包含了多种先进的工艺技术，以增强蚀刻和灰分工艺。其中包括先进的晶圆处理系统、自动化晶圆和样品加载系统、用于高通量速率的低温输送以及用于高级配方开发的专用工具软件。总体而言,NOVELLUS PEP 3510是一种可靠的蚀刻和灰化资产,可通过高效的过程集成提供高收益。先进工艺技术与鲁棒性的结合，使其成为半导体器件制造的绝佳选择。