二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146555 待售
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ID: 9146555
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Asher, 8"
Cassette Interface:
(2) ASYST Integrated SMIF
Wafer handler: Dual blade
Model: XU-RCM4700 rev 2
Left module:
Model: PEP 3510A (L)
Configuration: 95-0481
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies:
MWave PS: AGL C13170 (1250W)
Left module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 TYLAN FC-2900MEP
N2 200 TYLAN FC-2900MEP
N2H2 4000 TYLAN FC-2900MEP
Right module:
Model: PEP 3510A (R)
Configuration: 95-0482
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: AGL C13170 (1250W)
Right module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 TYLAN FC-2900MEP
N2 200 TYLAN FC-2900MEP
N2H2 4000 TYLAN FC-2900MEP
Power: 208 V, 50 Hz, 150 A, 1 Phase / WYE
1995 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一种高级蚀刻/灰烬工具,能够进行高精度蚀刻和表面修改。它是一个集成的多阶段工艺工具,支持单个平台上的蚀刻和表面修改。这是通过使用一条气体管线和一个精细间隔的电极阵列，以及各种功率水平和化学组合来实现的。该工具特别为满足挑战3 D内存和堆叠设备应用程序的要求而设计。GASONICS PEP 3510A提供了高达100晶圆/小时的无与伦比的速度，转化为每晶圆不到10秒的过程时间。此外，该平台允许从浅蚀刻深度到大于6微米的广泛工艺范围，并且对工艺的可重复性和精度有非常严格的控制。因此,蚀刻/灰烬工具非常适合具有多层深度结构、底壁阵列和FinFET的设备。该工具具有多种高级功能和选项,包括四平衡电极阵列、内置电容压力计和光谱级数字质量流控制器。这允许严格的过程控制，以及精确的化学传递和温度控制。NOVELLUS PEP 3510A能够处理各种化学物质,包括氯化物、溴化物、氟化物、氧化剂等,使用户能够根据其具体应用定制过程。此外,PEP 3510A包括具有多个输入和输出的分布式电源支持。这有助于进一步确保过程的可重复性和准确性。最后,GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一款先进的高速蚀刻/灰烬工具,它包含多种功能和选项,可确保严格的过程控制、准确的化学传递和出色的可重复性。因此,GASONICS PEP 3510A是寻求可靠、高精度蚀刻和表面修改解决方桉的用户的理想选择,以应对具有挑战性的3D内存和堆叠设备应用。
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