二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146556 待售
网址复制成功！
ID: 9146556
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Asher, 8"
Machine hours: 29389
Cassette interface:
(2) ASYST Integrated SMIF
Wafer handler: Dual blade
Model: XU-RCM4700 rev 3
Left module:
Model: PEP 3510A (L)
Configuration: 95-0481
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 34260.9
Left module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Right module:
Model: PEP 3510A (R)
Configuration: 95-0482
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 16547.1
Right module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Power: 208 V, 60 Hz, 150 A, 1 Phase / WYE
1997 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一种高精度的蚀刻器/asher,设计用于多种应用。本机能够对微电子和光电子制造中的各种材料进行精确的蚀刻或粉碎，具有很高的精度和可重复性。GASONICS PEP 3510A具有先进的基于软件的电机驱动控制系统,可编程各种蚀刻或灰化参数,如腔室压力、反应时间和温度。这样可以快速、准确地蚀刻或粉刷目标材料。NOVELLUS PEP 3510A还具有两个不同的房间,它们保持在真空环境中。每个腔室都有自己的独立控制的射频电源,可以根据需要配置为蚀刻或灰化。PEP 3510A还提供多种安全功能,包括互锁系统、关闭阀和压力表。这些安全功能旨在确保蚀刻或粉刷的材料质量最高,并始终安全、准确地维护机器的环境。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一种高度通用的机器，能够蚀刻或灰化多种材料，包括铝、硅、砷化氙、磷化超等高性能材料。这使其成为用于高精度制造应用的理想机器。GASONICS PEP 3510A除了具有蚀刻和灰化功能外,还具有内置的等离子体源,可用于蚀刻后或灰化清洁。等离子体源可调节用于干式等离子体清洗和湿式等离子体清洗。这有助于在蚀刻或粉刷后提供干净且无损坏的光洁度。最后,NOVELLUS PEP 3510A是一种极具效率的机器.其独特的设计和先进的软件控制电机驱动器提供了高性能和快速循环时间。此外,机器的控件简单易用,确保用户能够快速准确地设置、编程和执行蚀刻和灰化过程。
还没有评论