二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9170813 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一种用于半导体行业大容量芯片制造应用的蚀刻和灰化设备设计。用于IC（集成电路）最新设计的模式传输和设备制造。该系统具有6通道并行处理体系结构,可在多种材料上进行高效的蚀刻/灰分处理,非常适合大批量生产。该单元还配备了紧密的工艺集成，可以轻松与其他GASONICS设备集成。该机由一个机器人装卸码头、一个主机处理器、一个真空室以及多个活塞和真空泵组成。机器人码头使用铰接臂将晶片从盒式磁带排队站移动到蚀刻室。大型机处理器允许精确控制蚀刻参数。真空室在蚀刻和灰化过程中保持晶片，活塞和真空泵用于移动、控制和维持腔内的压力。该工具能够蚀刻和灰化多种材料，包括硅片、铝、铜、钨等。它能够在一个单室中每小时处理多达4500个晶圆。该资产还具有各种蚀刻和灰化参数，可以对其进行编程，从而提高精度和可重复性。该模型具有创新的安全和污染物控制功能。晶圆盒在转移过程中与设备隔离，减少了受到污染或损坏的机会。该系统还包括晶圆湿度传感器、确保适当晶圆装卸的静电卡盘，以及将颗粒物和蒸气污染降至最低的高效过滤器。GASONICS PEP 3510A是一款功能强大、可靠的蚀刻和灰化装置，专为满足半导体行业的高容量晶圆加工需求而设计。它具有高性能、紧密的过程集成和创新的安全特性,是需要精确、可重复模式传输的芯片制造操作的绝佳选择。