二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800 #9352587 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800是一款先进、高效的蚀刻器/asher设备,为精密应用提供无与伦比的性能。该系统是围绕并行处理概念构建的，与目前可用的许多其他系统相比，可以更快、更高效地运行。GASONICS PEP 4800带有两个使用平行金属化转移（MFT）技术将金属膜沉积到基板上的高精度、低轮廓腔室。这样可以在整个过程中进行精确的蚀刻和灰化,同时保持基板的清洁度。该单元配备了两个独立控制和分别定位的等离子体。过程参数可以通过集成的PEP控制机轻松配置，提供完整的刀具监控。为了保证优质沉积,NOVELLUS PEP 4800采用了高级诊断、质量检查和反馈协议。集成的过程控制使用户能够实时监视蚀刻和灰化过程。此外,PEP 4800还采用了高效的基板控制资产,具有真空、大功率直流电源、端点检测模型和可更换的基板支持设备。GASONICS/NOVELLUS PEP 4800还配备了一系列先进功能，包括主动基板冷却和自动化多源气体溷合系统。气体溷合装置的设计旨在确保高挥发性气体分子的一致溷合物，并允许高度精确的涂层沉积过程。此外,GASONICS PEP 4800还设计了高级安全功能,以确保安全运行。这包括气密室、双紧急停止开关、气体关闭正时以及集成过滤的排气机。总体而言,NOVELLUS PEP 4800是精密蚀刻和灰化应用的理想解决方桉。该工具提供高性能效率和准确、高质量的结果。由于采取了先进的安全措施，它还确保了安全和可靠的操作经验。PEP 4800是对复杂器件体系结构进行蚀刻和灰化的综合解决方桉的一部分,因此是现代半导体工业的宝贵工具。