二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #293595640 待售

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia是为超高精度临界层蚀刻和高速处理而设计的工业蚀刻器/asher。它能够执行广泛的高端加工要求，如浅沟槽蚀刻、沟槽到沟槽镀、干蚀刻、背面接触蚀刻。利用先进的光刻设备和气体输送系统，该机能够在亚微米级生产具有挑战性的结构，具有很高的精度和可重复性。该机配备了独特的双级板旋转单元，确保了高一致性，并允许最佳放置蚀刻和灰化层。PEP 4800DL能够处理多达8英寸的基板。（200毫米）直径，最大0.4英寸。（10毫米）厚。它使用湿蚀刻和干蚀刻工艺，允许生产高度复杂的设备。作为标准特性，该机配备了强大稳定的直流/交流等离子体源，时刻提供稳定的羽流。为了获得最大的灵活性，该机器可以配备多达24个独立的处理室，并且能够处理各种各样的化学前体和气体。先进的集成气体输送机提供了高度可靠和一致的气流，确保了任何蚀刻或灰化要求的完美工艺匹配。PEP 4800DL是完全自动化的,具有内置的监控和数据采集工具,消除了操作员的干预,并提供了准确、可重现的结果。它配置了一个复杂的计算机控制的流程周期，允许工程师修改流程参数和优化流程。此外，它还可以配备一个可选的后处理机制，以确保在加工过程中完全无瑕疵。该机还集成了NOVELLUS/GASONICS/NOVELLUS售后过程监控和分析软件，允许在处理过程中进行完整的过程控制和跟踪。