二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9308743 待售
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GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia是为先进设备制造而设计的蚀刻/灰烬加工工具。它能够在电介质膜基板上进行蚀刻/灰分处理，精度和精确度都很高。该工具采用溷合工艺室设计来实现其目标。这使它能够实现广泛的工艺参数，包括高达1000 °C的温度和高达40 Torr的压力。该腔室采用直接和低压组件组合而成，以实现所有工艺操作的均匀和减压。4800DL Iridia的高级功能包括一般和专门的蚀刻和烧蚀应用。对于蚀刻干法，它提供直接的DC激发离子束源和同时的等离子体/离子束源，从而实现了高水平的过程控制。它具有高精度的蚀刻/灰分速率控制，以及能够以高精度调整膜上的图桉特征。此外,它还包括一个多位置旋转基板支架,使其能够在多个晶片/薄膜上同时执行过程。对于干燥过程，4800DL虹膜能够独立控制温度、压力和气流。它的设计考虑到了安全性和过程可靠性，包括一个广泛的安全系统。这些特性使它能够执行广泛的干燥过程，包括蚀刻、灰烬、烧蚀和沉积。由于其广泛的工艺范围，GASONICS PEP 4800DL Iridia适用于许多先进的设备制造应用。具有高性能纵横比、高精度层厚度控制和均匀性等特点.此外,它还能够生成具有高度可重复性和可靠性的紧密阵列化特征放置和结构。所有这些功能使NOVELLUS PEP 4800DL Iridia成为先进设备制造的理想选择。
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